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产品名称:FOUP (Front Opening Unified Pod)
产品描述
产品特点

用于芯片制造商内部工艺的运输容器。

充分考虑重量减轻和为便利操作者的人性化设计。

使用导电材料禁止颗粒吸附。

尽量减少划痕与高耐久性。

韩国唯一制造商。

晶片存储量:25片

间距:10毫米

外尺寸:(高416mm) x (宽343mm) x (深336mm)

重量:4.2kg(无晶圆);7.2kg(带晶圆)

*重量的改变取决于选配。


应用案例

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